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高純氦氣對液體槽車抽真空處理
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高純氦氣液體槽車管道連接與置換，高純氦氣使用專用低溫軟管連接槽車與充裝系統，避免敲擊或產生火花的操作。對輸液軟管進行吹掃置換，排除管道內殘留氣體，確保高純氦氣純度。
高純氦氣液體槽車抽真空處理，啟動真空泵對槽車及管道抽真空，負壓值需達到-0.1MPa以下，持續15-30分鐘以去除雜質和水分。高純氦氣抽空完成后關閉真空泵，緩慢開啟充裝閥門，防止泵油倒流。
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