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高純氦氣滲透性好常用在真空檢漏中
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高純氦氣在航空和航天應用，高純氦氣因其輕質、不易燃和高穩定性，在航空和航天領域有廣泛應用。例如，在飛艇中使用氦氣提供浮力，而在火箭發動機中使用液態氦提供冷卻效果。高純氦氣還可以用于核反應堆的冷卻和熱交換，以及修復后濃縮鈾擴散元件的凈化。此外，氦氣還用于原子核反應堆的清洗劑。
高純氦氣用于高精度測量和檢測，如溫度測量和泄漏檢測。由于其性質接近理想氣體，氦氣適用于極低溫度下的蒸汽壓力計。高純氦氣的滲透性好、不可燃的特性使其在真空檢漏中也有廣泛應用，如氦質譜檢漏儀。
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